TEMIC MIS Discovery

特殊ウェハの欠陥の再検査を行うための全自動オンライン
電子ビーム検査装置です。
先進パッケージ工程における清浄度および残留電荷に対する
厳しい要求に対応します。
Wafer on FFC向けに設計されており、AOIの欠陥座標データを
取り込んだSEM/EDS Reviewが可能です。