D-Sensor Bridge Beam

Z-axis

1. テスト中にZ方向のprobe cardとbridge beam間の距離と水平度を監視
2. アドバンテスト社と共同開発したテストユニット監視システムにより、データ統合とテスト環境のモニタリングを実現
3. D-sensorとアドバンテスト製Force sensorの同期によりリアルタイム監視を実現

Y-axis

1. プローブカードのstiffenerを監視し、発生しうる針跡のずれを予測
2. アドバンテスト社と共同開発したテストユニット監視システムにより、データ統合とテスト環境のモニタリングを実現